В среде Excel из пакета Microsoft Office составлена балансовая схема производства трихлорсилана, основанного на гидрохлорировании элементарного кремния. Схема включает стадии синтеза хлороводорода, синтеза трихлорсилана, разделения парогазовой смеси и очистки трихлорсилана. При изменении пользователем условий расчета схема позволяет автоматически пересчитывать материальные потоки, удельные расходные коэффициенты и т.д., а также контролировать соответствие полученных в процессе расчета балансовых данных заданным показателям производства.